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小編報道,3月11日,光刻技術巨頭ASML宣布與imec微電子研究中心簽署了一項為期五年的戰(zhàn)略合作協(xié)議。這對長期合作伙伴將在先進工藝和可持續(xù)發(fā)展領域展開合作,發(fā)揮各自的優(yōu)勢和專長。
在半導體工藝方面,imec主導的后2納米制程先進節(jié)點SoC中試線NanoIC將引入一系列ASML的高端設備,包括高數值 aperture EUV光刻機等。雙方還將共同探索硅光子學、存儲技術和先進封裝技術的創(chuàng)新。
ASML將為imec提供資金支持,資助其在環(huán)境和社會效益方面的創(chuàng)新想法和實踐活動。
ASML總裁兼首席執(zhí)行官克里斯托弗·??ㄌ乇硎荆?/p>
imec總裁兼首席執(zhí)行官盧 Cas Van den Hove表示:
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